JIS R1633-1998
扫描电子显微镜观察用精细陶瓷和陶瓷粉末的样品制备方法

Sample preparation method of fine ceramics and fine ceramic powders for scanning electron microscope observation

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标准号

JIS R1633-1998

发布日期

1998年01月20日

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

Q32

国际标准分类号

81.060.30

发布单位

JP-JISC

适用范围

この規格は，乾燥状態にない試料。揮発性試料,非導電性試料の観察を可能にする特殊な機能及び構造をもたず，試料室の圧力が10<上-2> Pa以下で使用可能な走査電子顕微鏡(以下，SEMという。)を用いて，ファインセラミックスのバルク体材料及び粉体才オ料をSEM観察するための試料調製方法について規定する。

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