GB/T 17874-1999
电子工业用气体 三氯化硼已作废

Gases for electronic industry--Boron Trichloride

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标准号

GB/T 17874-1999

发布日期

1999年09月16日

实施日期

2000年06月01日

废止日期

2011-05-01

中国标准分类号

G86

国际标准分类号

71.100.20

发布单位

CN-GB

代替标准

GB/T 17874-2010

适用范围

本标准规定了电子工业用三氯化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。 本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三氯化硼，主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。

GB/T 17874-1999系列标准