表1 分子泵低温泵共同抽气数据表2 分子泵单独抽气数据 实验结果表明，引入低温泵后，容器真空度有显著提高，但低温泵对容器本底几乎没有影响，低温泵对系统的有效检漏灵敏度几乎没有影响。 结论 根据本文的研究可以得出结论，以低温泵为主泵的检漏系统中，低温泵对氦气的分流很小，因此低温泵的引入对系统有效检漏灵敏度影响很小。...
低温泵分为注入式液氦低温泵和闭路循环气氦制冷机低温泵两种。 注入式液氦低温泵 主要由液氦容器、泵体和连接挡板的液氮腔体等部分组成。为了减少液氦消耗，液氦容器的外壁采用双层保温壁并在其间抽成真空。当泵被预抽到帕压力时灌入液氮和液氦，气体凝结在4.2K的工作冷板上。经预抽使氦氢分压到帕数量级，故泵可获得帕以下的极限压力。...
，真空系统都会有泵组在抽真空，所以在泵的进气口处连接氦质谱检漏仪是在气流的运动方向上，很容易有一部分分压分给氦质谱检漏仪，从而达到检漏的效果。 ...
一般说来，泵的极限压力就是冷板温度下的被冷凝气体的蒸气压力。温度为120K时，水的蒸气压已低于帕。温度为20K时，除氦、氖和氢外，其他气体的蒸气压也低于帕。但由于被抽容器和低温冷板的温度不同，泵的极限压力高于冷凝物的蒸气压。对于室温下的容器，低温板为20K时，泵的极限压力约为冷凝物蒸气压力的4倍。...
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