BS EN ISO 14644-2:2000
洁净室和相关控制环境.证明继续与ISO 14644-1相符的检测和监控规范

Cleanrooms and associated controlled environments - Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1

被代替

非常抱歉，我们暂时无法提供预览，您可以试试： 免费下载 BS EN ISO 14644-2:2000 前三页，或者稍后再访问。

您也可以尝试购买此标准，
点击右侧 “购买” 按钮开始采购（由第三方提供）。

注意： 点击下载后，生成下载文件时间比较长，请耐心等待......

标准号

BS EN ISO 14644-2:2000

发布

2000年

发布单位

英国标准学会

替代标准

BS EN ISO 14644-2:2015

当前最新

BS EN ISO 14644-2:2015

 

 

被代替标准

98/123943 DC:1998 BS 5295 Part 4:1989

适用范围

ISO 14644 的这一部分规定了对洁净室或洁净区进行定期测试的要求，以证明其持续符合 ISO 14644-1 指定的空气颗粒洁净度分类。 这些要求调用 ISO 14644-1 中描述的测试来对洁净室或洁净区进行分类。 还指定了根据 ISO 14644 本部分的要求进行的附加测试，还确定了由用户自行决定应用的可选测试。 ISO 14644 的这一部分还规定了洁净室或洁净区（以下简称装置）的监控要求，以提供其持续符合 ISO14644-1 指定的空气颗粒洁净度分类的证据。

推荐