UL 2360-2000
半导体器件制造用塑料可燃性特征测定的试验方法

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适用范围: 1.1 这些要求涵盖了测量半导体湿式工作台工具结构中使用的片状塑料的防火性能的测试方法 1.2 分类为 1 类或 2 类的塑料材料在不使用喷头的情况下表现出有限的火蔓延 1.3 结构的变化或所测试的条件能够显着改变塑料的性能特征 1.4 本标准不适用于评估半导体工具结构中使用的小型塑料部件，例如管道或布线 1.5 本标准不测量机械或结构性能本标准不测量塑料材料产生的烟雾的危害。 1.6A 产品包含新的或不同于本标准要求的特征、特性、成分、材料或系统。涉及火灾或电击风险的人员应使用适当的附加组件和最终产品要求进行评估，以维持本标准最初预期的安全水平具有特征、特性、组件、材料的产品与本标准的具体要求或规定相冲突的系统不符合本标准，应按照本标准的开发、修订和实施所采用的方法提出并采用要求的修订。 2 总则 2.1 计量单位 2.1． 1 不带括号的数值为要求括号内的数值为解释性或近似信息 2.2 未注明日期的参考文献 2.2.1 本标准要求中出现的任何未注明日期的规范或标准应解释为引用该规范或标准的最新版本。标准版权所有 UndenEiLers LaboraLories]nc Sun Sep 05 1029：46 2004

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