JIS B 0652:1973
干扰测量法测量表面粗糙度的测量仪

Instruments for the measurement of surface roughness by the interferometric method


 

 

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标准号
JIS B 0652:1973
发布
1973年
发布单位
日本工业标准调查会
当前最新
JIS B 0652:1973
 
 
适用范围
この規格は,標準反射面とに被測定面とによって生ずる光波干渉しまを顕微鏡によって拡大し,表面あらさを測定する光波干渉式表面あらさ測定器(以下,測定器という。)について規定する。

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