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测试方法 2005 指定用于表征洁净室和洁净区性能的空气颗粒洁净度指定分类的测试方法 ISO14644-4 设计、建造和启动 2001 指定洁净室安装的设计和构造要求 ISO14644-5 运营 2004 指定洁净室运行的基本要求 ISO14644-7 分离装置(清洁空气罩、手套箱、隔离器和微环境) 2004 ...
为此,按照惯例要对洁净室进行“工程验收”。工程验收一般分两个阶段进行,竣工验收和综合性能评价。此外,对于一个正常使用中的洁净室,为确保其始终处于设计所要求的“受控状态”,就必须进行定期或连续的监测,以考核洁净室的相关技术参数,判定其是否符合规定的状态。与其相关的一整套运行管理体系,则是保障受控环境持续正常运营的“软件”。...
不同的工艺制程对洁净度的要求也各不相同,例如光刻要求在1级的微环境下,而化学机械研磨则只要求1000级的环境即可。 另外,集成电路制造洁净厂房对噪声、微振、照度等都有相关的规定和要求,尤其是振动的控制,在洁净室的建筑结构设计上就要有所要求。 好的洁净车间设计不仅能节省能源、降低运行成本、降低人力投入,而且可以给生产安全可靠的保证。...
清洁作业区和准清洁作业区与其他区域之间的门应能及时关闭。窗户玻璃应使用不易碎材料。若使用普通玻璃,应采取必要的措施防止玻璃破碎后对原料、包装材料及食品造成污染。窗户如设置窗台,其结构应能避免灰尘积存且易于清洁。可开启的窗户应装有易于清洁的防虫害窗纱安装设计要求,有效防止杂物,蚊虫等污染。4.食品厂净化车间地面设计建造要求。 车间地面应使用无du、无味、不渗透、耐腐蚀的材料建造。...
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