润滑脂,碳氟化合物 是非强制性国家标准,您可以免费下载预览页
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这些烃链被紫外线和 X 射线破坏后,会形成一个碳层。当针对这些波长与薄膜反射镜一起使用时,这些碳沉积物会大大影响光学效率。因此,XUV 辐射领域的应用对碳氢化合物的污染特别敏感。这包括,例如,X 射线望远镜的空间模拟器,还包括用于表面调查或光刻的测量设备。氟润滑脂氢原子几乎完全被碳链周围的氟原子取代。在全氟聚醚中,一些氧桥保留在了碳链中。这些化合物具有很强的稳定性和化学惰性。...
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