采用等离子喷涂技术制造溅射用靶材,如用于物理气相沉积(PVD)的钇钡铜氧(YBa2Cu3Ox)靶,能够制造出高性能的超导薄膜,其临界电流密度高达105~106 A/cm2。6.4 在微电子工业中金属-陶瓷复合材料是微电子工业基板材料的一种理想材料。在金属板(如科伐合金、铜、铝、钢)上热喷涂绝缘陶瓷涂层,具有高热导率的金属能将强电流所产生的热发散开,而陶瓷涂层则提供很好的介电绝缘性能。...
11、 热喷涂:火焰喷涂,电弧喷涂,等离子喷涂,爆炸喷涂,粉末等离子堆焊等目的是制备耐蚀,耐磨,减摩,隔热,导电,绝缘,可磨耗封严等多种功能涂层 12、 物理气相沉积(PVD):蒸发镀,溅射镀,离子镀等目的是制备装饰性,耐磨,耐蚀及光,电,磁等功能薄膜 13、 化学气相沉积(CVD):常压化学气相沉积,低压化学气相沉积,激光化学气相沉积,金属有机化合物化学气相沉积,等离子体化学气相沉积等目的是制备耐磨...
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