BS EN 62047-3:2006
半导体器件.微机电设备.拉伸测试的薄膜标准试样
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Thin film standard test piece for tensile testing
- 标准号
- BS EN 62047-3:2006
- 发布
- 2006年
- 发布单位
- 英国标准学会
- 当前最新
- BS EN 62047-3:2006
- 引用标准
- IEC 62047-2 ISO 17561
- 被代替标准
- 05/30104054 DC-2005
- 适用范围
- 本国际标准规定了一种标准试件，用于保证长度和宽度在1mm以下、厚度在10μm以下的薄膜材料拉伸测试系统的适当性和准确性，这些薄膜材料是微机电系统（MEMS）的主要结构材料。 ）、微型机械和类似设备。 本国际标准基于这样的理念：当预先确定的标准试件的拉伸强度所测得的拉伸强度在指定范围内时，拉伸测试系统的适当性和准确性就能得到保证。 它还指定了测试件，以尽量减少测试件之间的特性偏差。
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