JIS K0145-2002
表面化学分析.X射线光电子分光计.能量刻度的校准

Surface chemical analysis -- X-ray photoelectron spectrometers -- Calibration of energy scales

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标准号

JIS K0145-2002

发布日期

2002年03月20日

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

G04

国际标准分类号

71.040.50

发布单位

JP-JISC

适用范围

この規格は，通常の分析用途に用いる場合の，単色化しないAlとMg,単色化したAlを励起X線源として用いるX線光電子分光装置の結合エネルギー軸目盛を校正する方法を定める。この規格は，測定試料をスパッタクリーニングすることが可能なイオン銃を備えた装置に限って有効である。更に，この規格は，結合エネルギー軸目盛の直線性を確認するためにいつ校正を行うべきかという日程を決めるための方法，ある中問のーつのエネルギーで目盛の直線性を調べて校正値の誤差範囲を読み取り。ある高い結合エネルギー値と低い結合エネルギースケール値の不確かさを校正し，こうして，小さな変動の修正と結合エネルギー軸目盛の拡張不確かさを信頼限界95%で校正できる不確かさを定義する。二の不確かさの範囲には機関間によるものを合むが，分光装置に生じるすべての欠陥を範囲として合むものではない。また，この規格は次のような場合，エネルギー目盛が明らかに直線性を失っでいる場合，エネルギー阻止比が10未満の定エネルギー阻止比で測定する場合，分光器のエネルギー分解能が1.5 eVよりも悪い場合，許容誤差範囲として±0.03eV以下の値を要求する場合には適用できない。この規格は設定可能なすべてのエネルギー点に関するエネルギー軸目盛の校正ではなく，そのような校正は装置製造業者の推奨する方法に従ってなされろべきである。

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