JIS K0146-2002
表面化学分析.溅镀深度造型.利用分层系统作为标准物质的优选法

Surface chemical analysis -- Sputter depth profiling -- Optimization using layered systems as reference materials

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标准号

JIS K0146-2002

发布日期

2002年03月20日

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

G04

国际标准分类号

71.040.50

发布单位

JP-JISC

适用范围

この規格は，オージェ電子分光法，X線光電子分光法及びニ次イオン質量分析法における測定条件の関数として最適な深さ分解能を得るために，適切な単層及び多層構造系標準物質を用いるスパばッター深さ方向分析パラメータの最適化手順について規定する。この規格は，特殊な多層構造系，例えば，デルタドープ層の使用を取り上げない。