JEDEC JESD87-2001
结构可靠性评估与AICu Metallizations屏障材料的标准测试

Standard Test Structures for Reliability Assessment of AICu Metallizations with Barrier Materials

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标准号

JEDEC JESD87-2001

发布

2001年

发布单位

(美国)固态技术协会,隶属EIA

 

 

适用范围

本文件描述了评估铝-铜、难熔金属势垒互连系统的可靠性所需的测试结构的设计。这包括其中难熔金属阻挡层或其他阻挡材料防止铝和/或铜金属离子流在互连层之间移动的任何金属互连系统。屏障材料可能存在于以下一个或所有位置

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