DIN 32566:2007
微型系统用生产设备.X射线光刻掩膜支持环用规范
Production equipment for microsystems - Specification for an X-Ray Lithography Mask Support Ring
- 标准号
- DIN 32566:2007
- 发布
- 2007年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN 32566:2007-12
- 当前最新
- DIN 32566:2007-12
- 引用标准
- DIN EN ISO 1101 DIN EN ISO 8734
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