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接着混合气体被压缩至工艺压力并再次提供给闭合回路中的检测系统。回收已使用的氦气尤其满足 DIN EN ISO 14001 环境认证要求并可以节约资源。回收装置的设计为独立系统,无论来自哪家检漏系统生产商,都可以对氦检测气体进行回收。根据工艺参数,氦浓度在 10% 到 95% 之间时,高达98%的惰性气体可以被回收。回收率取决于氦气回收装置的类型和版本、参数设置以及连接的检测系统内的氦密度。...
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