陶瓷管, 您可以免费下载预览页
压电陶瓷管扫描器结构压电陶瓷管扫描器为径向极化电极分割的压电陶瓷管,通常采用四分区进行分割,可以实现XYZ三维运动。也可以根据客户的要求定制进行多区域分割。...
压电陶瓷管扫描器的作用压电陶瓷管扫描器载着样品在X-Y平面内做微小运动,样品到针尖的距离会随着样品表面形貌的变化而变化,该距离的变化将改变样品和针尖之间的原子力,原子力的变化会使得悬臂梁产生法相形变。通过激光反射路径的变化检测出微悬臂梁的反向形变程度,相应调整Z向压电陶瓷保证样品和针尖的原子力保持恒定。...
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