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高性能硅压力、加速度、角速度传感器前沿技术(基础前沿技术类) 研究内容:研究新型谐振式硅传感器敏感原理和结构;研究传感器非线性效应、耦合效应、温度效应及工艺误差影响;研究传感器优化设计、制造工艺精确控制、低应力封装等关键技术;开发闭环信号检测与控制电路系统集成技术;研制高精度硅压力传感器、加速度传感器、角速度传感器原型器件,并在流程工业与机器人领域试用验证。 ...
根据敏感机理不同,MEMS加速度计可以分为压阻式、热流式、谐振式和电容式等。压阻式MEMS加速度计容易受到压阻材料影响,温度效应严重、灵敏度低,横向灵敏度大,精度不高。热流式加速度计受传热介质本身的特性限制,器件频率响应慢、线性度差、容易受外界温度影响。因此,热流式和压阻式加速度计主要用于对精度要求不高的民用领域或军事领域中的高g值测量。...
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