硅单块 VME总线地址控制器,互补金属氧化物半导体,,数字微型电路, 您可以免费下载预览页
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它们不与氧气反应,因此不会产生氧化物。许多制造商将陶瓷用作传感器基板。 四、传感器制造 微传感器技术使用了常规硅平面IC技术中遵循的基本制造步骤以及一些其他步骤。目前,互补金属氧化物半导体(CMOS)是微传感器中最chang用的技术。微传感器是使用商业CMOS IC工艺和随后的批量微加工技术设计和制造的,确切具体的步骤因传感器而异。 ...
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