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智能传感器由传感元件、信号调理电路、控制器(或处理器)组成,具有数据采集、转换、分析甚至决策功能。智能化可提升传感器的精度,降 低 功耗和体积,实现较易组网,从而扩大传感器的应用范围,使其发展更加迅速有效。 智能传感器主要基于硅材料微细加工和CMOS电路集成技术制作。按制造技术,智能传感器可分为微机电系统(MEMS)、互补金属氧化物半导体(CMOS)、光谱学三大类。...
近日,南方科技大学深港微电子学院李毅达助理教授课题组在互补金属氧化物半导体(Complementary Metal Oxide Semiconductor,CMOS)后道集成和氧化物半导体领域取得重要进展。相关成果发表于《自然—通讯》。 ...
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