DIN EN ISO 10692-1:2003
储气瓶.微电子工业用储气瓶阀接头.第1部分:输出口接头
Gas cylinders - Gas cylinder valve connections for use in the microelectronic industry - Part 1: Outlet connections (ISO 10692-1:2001); German version EN ISO 10692-1:2001
- 标准号
- DIN EN ISO 10692-1:2003
- 发布
- 2003年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN EN ISO 10692-1:2003-04
- 当前最新
- DIN EN ISO 10692-1:2003-04
- 适用范围
- 该文件适用于气体和气体混合物的气瓶阀的出口连接，并涉及微电子元件或类似应用的制造需要最高水平的清洁度和无颗粒的特殊要求。
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