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生产环境控制就是对与产品生产过程相关的各类污染物的控制,生产环境中微粒的控制是十分重要的内容,洁净室等级就是以受控粒子的尺寸各浓度来划分,半导体集成电路生产用洁净室空气中受控粒子以往通常视为可按集成电路特征尺寸的1/10~1/5考虑,但随着集成度的提高,特征尺寸的不断缩小以及洁净生产环境控制技术的提高等因素,近年来倾向于受控粒子尺寸可按特征尺寸的1/2~1/3考虑,并已逐步得到各国同行的认同。...
指定分离设备的设计、构造、安装、测试和批准的最低要求 ISO14644-8 按化学物浓度(ACC)分类的空气洁净度 2013 涵盖洁净室及其相关受控环境中气态分子污染物(AMC)的分类 ISO14644-9 通过颗粒物浓度对表面清洁度进行分类 2012 通过洁净室及其相关受控环境中的颗粒物浓度确定固体表面洁净度等级的分类 ISO14644-10...
电子制造业洁净室的特点:洁净度等级要求风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外该类洁净室对静电要求非常严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内易产生静电,造成CMOS集成损坏。一般来说,电子厂房的温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定)。 这时可有效地消除静电,并使人也感觉舒适。...
GB/T 36370 洁净室及相关受控环境空气过滤器应用指南GB/T 36372 洁净室及相关受控环境组合式围护结构通用技术要求GB/T 33555 洁净室及相关受控环境静电控制技术指南GB 50457 医药工业厂房设计规范GB 50591 洁净室施工及验收规范ISO 14644-1 洁净室及相关受控环境 第1部分:空气洁净度等级SN/T 3080.1 洁净度和相关受控环境 生物污染控制 第1部分:...
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