通过将多个工件的机内测量结果与来自坐标测量机的测量结果进行比较可证，如照此种方式对测头进行标定，并将补偿数据应用到车床加工顺序中的测量过程中，可实现1µm以内的测量精度。为了测量圆度和直径，对每个质量块，测头记录了超过三十个圆周测量点的数据。对圆柱度，也按照类似模式进行测量。测量圆柱正面的六个球状压痕最具挑战性，在将圆柱放入差分加速度计中时，这些压痕可用作支承点。...
金刚石刀具的超精密切削加工在大型超精密机床方面，美国的LLL国家实验室于1986年研制成功两台大型超精金刚石车床：一台为加工直径2.1m的卧式DTM-3金刚石车床，另一台为加工直径1.65m的LODTM立式大型光学金刚石车床。其中，LODTM立式大型光学金刚石车床被公认为世界上精度最高的超精密机床。美国后来又研制出大型6轴数控精密研磨机，用于大型光学反射镜的精密研磨加工。...
“我们是世界上少数几家能够生产直径达460 mm的无缺陷单晶硅的公司之一，”Ross解释道，“我们在同一车间内完成从始至终的全部制造过程 — 这一点非常重要，因为半导体行业要求从材料来源到加工零件所有方面100%的可溯源性，而我们对全部过程都有着直接的控制，”Ross补充道，“满足客户的要求，这是一个采购经理的梦想。”工厂的环境是可控的，配有多个洁净度从10,000至100的洁净室。...
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