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离开了它的使用,半导体制造或镀膜的许多工艺步骤就不可能实现。涡轮分子泵的设计类似于涡轮机。在泵的内部,几个转子盘被安装在一个轴上(图1)。在它们之间是定子盘,其叶片方向与转子叶片方向呈镜像反转。因此,要泵送的气体分子从高真空法兰沿着各个涡轮级被输送到前级真空法兰。涡轮分子泵的转子有一个无刷三相同步电机驱动。这使得旋转频率可以达到1500Hz。...
答:转子之间由于安装误差及转子的制造,承载后的变形,环境温度变化等因素的影响,都可能造成对中不良,转子对中不良的轴系,由于联轴器的受力变化,改变了转子轴颈与轴承的实际工作位置,不仅改变了轴承的工作状态,也降低了转子轴系的固有频率,所以转子不对中是导致转子发生异常振动和轴承早期损坏的重要原因。25.测量和复查轴颈椭圆度和锥度的标准时什么?...
答:转子之间由于安装误差及转子的制造,承载后的变形,环境温度变化等因素的影响,都可能造成对中不良,转子对中不良的轴系,由于联轴器的受力变化,改变了转子轴颈与轴承的实际工作位置,不仅改变了轴承的工作状态,也降低了转子轴系的固有频率,所以转子不对中是导致转子发生异常振动和轴承早期损坏的重要原因。25.测量和复查轴颈椭圆度和锥度的标准时什么?...
刚性转子的动平衡可以通过通用平衡机来平衡惯性力和惯性力偶,消除转子在弹性支承上的振动。柔性转子的动平衡比较复杂,从原理上区分,有振型平衡法和影响系数法两类...
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