电子类.测量线路导体横向区域的标准方法 不是强制性中国国家标准,您可以免费下载预览页
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AAFM 本身的共振频率和半导体设施中环境噪声的指纹频率分离,以实现在线 AAFM 系统的亚纳米级粗糙度。背景噪音水平约为35pm。表 1 总结了从每个表面形貌图像计算的粗糙度参数。除低 FOV 为 50 nm 的区域外,所有粗糙度结果都类似。在这种情况下,由于横向分辨率限制,扫描面积很小(50 nm FOV)导致差异。...
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