生产率低:每次只能切割一片.当晶圆直径达到300mm时.内圆刀片外径将达到1.18m.内径为410mm.在制造、安装与调试上带来很多困难.故后期主要发展线切别为主的晶圆切割技术。 金刚石线锯足近十几年来获得快速发展的硬脆材料切割技术.包括自由助料线锯和固结磨料线锯两类。根据锯丝的运动方式和机冰结构.又可分为往复式和单向(环形)线锯。 目前在光电子工业中，使用最为广泛的是往复多线锯晶圆切割。...
耗材：金刚石线切割机用的各类直径的金刚石线、外圆切割机用的各类锯片、切割专用油、切割冷却粉、油石。 切割辅助设备：沈阳科晶自动化设备有限公司生产的MTI-3040和MTI-250加热平台，设备操作简单，温度≤200℃。 耗材：陶瓷树脂衬垫、石蜡 试样的镶嵌：沈阳科晶自动化设备有限公司生产的适用于无机非金属材料的冷镶嵌机的型号为CXQ-2500。 ...
锯片抛光机 全自动锯片抛光机是专门用于金刚石锯片基体的抛光，由机架、抛光机机构、机械手机构、除尘机构等机构组成，锯片的装卸、抛光等动作完全由PLC控制，使用砂带对金刚石锯片的基体进行抛光。以往，锯片的基体抛光基本上是由工人手工进行抛光，工作环境非常恶劣，全自动抛光机采用机械手自动装卸锯片，工人只需放置适当数量的锯片，及时的更换砂带，便可让机器自动运行，一人可以同时操作多台机器。...
·本机可以配用多种材质的锯片（如烧结金刚石锯片、电镀金刚石锯片、刚玉锯片、碳化硅锯片、立方氮化硼锯片），以满足不同材料的切割需求。·本机配有限位装置，可以进行无人看守切割。...
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