总压强测量方法可分为直接法和间接法两种。直接法利用液柱差、机械变形等原理直接测量压强,包括液位压强计、压缩式真空计、弹性元件真空计等。根据前两种仪器测出的物理量可算出压强值,属于绝对真空计。间接法利用气体某些物理性质(如热传导、粘滞性、电离及光散射效应等)来测量压强,包括热传导真空计、粘滞真空计及电离真空计等。在真空技术中使用的真空计绝大多数采用间接法,这些真空计必须用绝对真空计或其他方法校准。...
真空计常见的几种类型如下: 1、绝对真空计:直接读取气体压力,其压力响应(刻度)可通过自身几何尺寸计算出来或由测力确定。绝对真空计对所有气体都是准确的且与气体种类无关,属于绝对真空计的有U型镑压力计、压缩式真空计和热辐射真空计等。 2、相对真空计:由一些气体压力有函数关系的量来确定压力,不能通过简单的计算进刻度,必须进行校准才能刻度。...
通常,对低真空和高真空的测量不能用一种真空计来完成,而应采用复合真空计,应用较多的是电离与热偶式复合真 空计。它的测量范围为13.33--666.6×10-8Pa。热偶真空计测量(10-1--10-3)×133.32Pa的低真空;电离真空计测量 133.32×10-3--666.6×10-8Pa的高真空。...
热偶真空计的校准 热偶真空计在使用前也需要进行校准,热偶规管在未开封前真空度已抽至为10^-2~10^-3Pa。...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号