ISO 20341:2003
表面化学分析.次级离子质谱法.多δ层标准材料深度溶解参数的估算方法
Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials
- 标准号
- ISO 20341:2003
- 发布
- 2003年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 20341:2003
- 适用范围
- 1 本国际标准规定了在使用多个 Delta 层参考材料的 SIMS 深度剖析中估计三个深度分辨率参数（即前沿衰减长度、后沿衰减长度和高斯展宽）的程序。 2 本国际标准不适用于三角洲层，因为近地表区域的化学和物理状态因入射初级离子的改变而未处于稳定状态。