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尤其对于涡轮分子泵来说,压缩比是指在前级真空法兰测量的压力与在高真空法兰测量的压力之比。压缩比往往是在没有任何气体通过量通过泵时确定的。这就是所谓的零吞吐量,使用指数“0”对其进行识别。在有关涡轮分子泵的文献和技术资料中,压缩比往往被称为 K0。实际上,涡轮分子泵压缩比的测量是通过逐渐将气体引入前真空管道以增加前级压力同时测量确保高真空的压力来实现的。压缩比取决于几个因素。...
安全连接高真空法兰和真空室涡轮分子泵,尤其是抽速在 1000 l/s 以上、带有磁轴承和钟形转子的较大涡轮分子泵,在额定转速下具有较高的扭矩。在转子碰撞时,速度会以毫秒为单位降级。如果真空室布局不当且涡轮分子泵直接安装在上面,则会发生真空室变形的情况。情况最严重时还会造成涡轮分子泵扭曲,甚至会与真空室法兰脱离。近年来,已经通过碰撞实验和控制分析对泵壳和入口法兰上的力矩和受力进行了确定和测试。...
3.4.安全连接高真空法兰/真空室涡轮分子泵,尤其是抽速在 1000 l/s 以上、带有磁轴承和钟形转子的较大涡轮分子泵,在额定转速下具有较高的扭矩,在转子碰撞时,速度会以毫秒为单位降级。如果真空室布局不当且涡轮分子泵直接安装在其上时,则会发生真空室变形的情况,情况最严重时还会造成涡轮分子泵扭曲,甚至会与真空室法兰脱离。...
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