金刚石颗粒尺寸以及集中度颗粒尺寸的大小会直接影响到后续的切割质量以及刀片的使用寿命,比如颗粒度较大的金刚石,在高速旋转的情况下虽然可以快速去除更多的硅材料,但是也降低了切割质量。此外颗粒的集中度问题也对切割质量产生了明显影响,目前来看,常见的划刀片有5种规格的集中度,一个旋转周期所移去的硅材料数量是相同的。但是平均到每一个金刚石颗粒的数量确实不同。...
金刚石颗粒大小的影响主要参与划切加工的就是金刚石,分离剂主要起粘结金刚石的作用。不同颗粒大小的金刚石对划片质量的影响是比拟明显的。大颗粒金刚石撞击力比拟大,工件产生的裂纹比拟大; 依据磨划机理特性,金刚石颗粒尺寸越大,对晶圆的撞击力越大,招致正面崩边尺寸越大。金刚石颗粒尺寸越大,越不容易产生刀片梗塞,就能够有效降低产品的反面崩边。小颗粒金刚石撞击力较小,正面崩边尺寸会越小。...
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