Diese ?NORM gibt eine ?bersicht der Verfahren zur Messung der Dicken von Schichten auf Metallen und Nichtmetallen. Sie umfa?t nur die in der Oberfl?chentechnik genormten Schichtdicken-Me?verfah-ren. Me?verfahren, die für spezielle Me?probleme gedacht oder nicht allgemein üblich sind, werden nicht berücksichtigt.
Au?erdem werden die Grundlagen beschrieben, die bei der Durchführung von Schichtdickenmessun-gen oder Bestimmen der fl?chenbezogenen Masse wichtig sind und beachtet werden müssen. Dienach-stehenden Festlegungen sollen als ?bersicht zur Auswahl der geeigneten Me?verfahren dienen. In den speziellen Normen werden die Verfahren ausführlicher behandelt.
Verfahren zur Schichtdickenmessung k?nnen entweder zerst?rend oder zerst?rungsfrei sein.
Die Angaben in den Tabellen 1 und 2 helfen bei der Auswahl der am besten geeigneten Methode für die einzelnen Vorhaben. Die Dickenbereiche werden durch die verschiedenen Verfahren, abh?ngig von den verwendeten ?berzugsmaterialien, Grundwerkstoffen und Ger?ten, abgedeckt.
Die Dickenmessung von Dünnfilmschichten und Schichten aus der Halbleitertechnik ist nicht Gegen-stand dieser ?NORM.
Fortsetzung Seiten 2 bis 17 Nach dieser ?NORM ist eine Normkennzeichnung gem?? § 3 Normengesetz 1971 unzul?ssig.
Textstellen in kursiver Schritt, ausgenommen Formelzeichen, sind nicht Normentext. Zitierungen von Normen ohne Ausgabedatum beziehen sich auf die jeweils geltende Fassung. Auslegungen (Interpretationen) und Erl?uterungen zu ?NORMEN sind laut Gesch?ftsordnung des ON nur dann authentisch, wenn sie vom ON aufgrund einer Beschlu?fassung im zust?ndigen FNA herausgegeben werden.