由于机械加工水平的限制,运动部件的配合不可能完全密封,气体总会从高压端泄漏到低压端,因此常用蒸气压低、有一定黏度的油来密封,以达到较高的极限真空②干式真空泵 该泵是一种无泵油和润滑油的机械泵,又称为干式涡旋真空泵。根据涡旋盘运作方式不同可以分为公转型和回转型两种。...
热规具有测量范围宽(~5×Pa)、稳定性好、精度较高[(10%~20%)]、响应快、不受机械振动和外界环境影响等优点。它的主要缺点是阴极易受过量空气及泵油蒸气等污染物的损害,特别是被测真空系统压强高于0.1a时,处于工作状态的阴极会烧断。②冷阴极电离真空计 冷阴极电离真空计简称冷规”,它是利用低压气体在强电场和强磁场下的冷阴极放电作用使气体分子电离的原理。...
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