A causa del limitato potere di penetrazione del fascio elettronico, le provette dei materiali destinati alla osservazione al microscopio elettronico devono essere estremamente sottili e nella maggior parte dei casi il loro spessore non deve essere maggiore di 100 nm. L' esame al microscopio elettronico delle superficie dei materiali metallici può essere fatto mediante l' uso di un microscopio elettronico a scansione (osservazione diretta) o mediante l' uso di un microscopio elettronico a trasmissione (osservazione indiretta). In quest' ultimo caso si rende necessaria la preparazione della replica. La provetta non viene generalmente distrutta. Le tecniche di preparazione delle repliche sono numerose e possono essere così suddivise: repliche ad uno stadio (dirette o negative); repliche a due stadi (indirette o positive). Lucidatura ed attacco delle superficie da esaminare. Preparazione delle repliche ad uno stadio. Preparazione delle repliche a due stadi in acetato di cellulosa-carbone.