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4、 辅助真空系统 对子漏气速率和放气速率较大或者体积较大的被检件，若直接与检漏仪相连，检漏仪的真空度可能抽不上去，使检漏仪无法工作。此种情况须加接辅助真空系统，提高对被检件的抽速。zui简单的辅助真空系统只需一个机械泵和两个阀门（图1-8） ，复杂的系统可由前级泵、次级泵、阀门、真空规及标准漏孔等组成。次级泵可用扩散系或罗茨泵，前级系zui好用气镇式机械泵。 ...
卫星的整体检漏就是可以用这种方法,如图9所示,将卫星放入大型环模室中,利用环模设备的真空系统将环模抽成真空,先用辅助泵进行粗抽和预抽,在检漏时先通过机械泵将卫星及充气管道抽成真空后,将氦气充入卫星中,压力保持和卫星工作的压力一致,最后开启氦质谱检漏仪用标准漏孔校准仪器,就可以直接测量卫星的漏率了。 ...
图15 喷吹法检漏系统 1-检漏仪；2-辅助阀；3-辅助泵； 4-被检容器；5-喷枪；6-氦气瓶 当被检容器存在大漏时，单用检漏仪来抽被检容器，真空度抽不上去，质谱室不能工作。此时可打开辅助阀，用辅助泵帮助抽气，以维持质谱室的正常工作压力。由于辅助泵的分流作用，使检漏灵敏度降低，因此辅助阀的打开程度要尽量小。...
采用氦质谱真空检漏对真空泄漏率要求较高的大容器检漏时检漏灵敏度的高低是衡量检漏结果精确与否的重要指标之一。“要充分发挥检漏仪的能力，以求得尽可能高的检漏灵敏度。必须对辅助真空系统进行合理设计。”通过对检漏灵敏度的分析确定检漏仪在真空系统中的连接方式，可以达到检漏目的的连接方式有两种。 检漏仪接在前级泵侧：检漏仪接在前级一侧时，令前级泵对氦气的抽速为6,次级泵对氦气的抽速为6%。...
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