ASTM F1261M-96(2003)
薄膜金属直线平均电宽度测定的标准试验方法
Standard Test Method for Determining the Average Electrical Width of a Straight, Thin-Film Metal Line [Metric]
- 标准号
- ASTM F1261M-96(2003)
- 发布
- 1996年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 当前最新
- ASTM F1261M-96(2003)
- 引用标准
- ASTM E178
- 适用范围
- 1.1 本测试方法旨在确定窄薄膜金属化线的平均电气宽度。
1.2 本测试方法旨在测量薄金属化线，例如微电子电路中使用的细金属化线，其线宽范围从微米到十分之一微米。
1.3 本测试方法中使用的测试结构可以在仍然是晶圆的一部分或晶圆的一部分时进行测量，或者作为测试芯片的一部分粘合到封装上并通过封装端子进行电连接。
1.4 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。
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