ASTM F397-93(1999)
用两点探针测定硅棒电阻率的标准试验方法
Standard Test Method for Resistivity of Silicon Bars Using a Two-Point Probe
- 标准号
- ASTM F397-93(1999)
- 发布
- 1993年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM F397-02
- 当前最新
- ASTM F397-02
- 引用标准
- ANSI B46 ASTM D1193 ASTM E1 ASTM F42
- 适用范围
- 1.1 本测试方法适用于测量面积均匀、形状为正方形、长方形或圆形、电阻率在0.0009至3000Ωcm之间的单晶棒的电阻率。硅晶体的电阻率是一项重要的验收要求。
1.2 本测试方法适用于 n 型或 p 型硅单晶，其晶体横截面的均匀性使得可以准确计算面积。样品横截面积应恒定在通过沿晶轴测量确定的平均面积的±1%以内（见12.2）。
1.3 试样长度与横截面最大尺寸之比应不小于3：1（见12.1）。循环测试的最大直径为 3.75 厘米（1.5 英寸），这是该方法可以测量的最大直径。样本通常应具有0.4μm(16μin.)rms或更小的表面光洁度(参见ANSI B46)。如果双方都能接受，可以使用其他表面处理；然而，该测试的多实验室精度数据（见 16.1）可能不再适用。
1.4 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。具体危险说明见第 9 节。
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