ASTM F1376-92(2005)
气体分配系统元部件的金相分析

Standard Guide for Metallurgical Analysis for Gas Distribution System Components

被代替

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标准号

ASTM F1376-92(2005)

发布

1992年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM F1376-92(2012)

当前最新

ASTM F1376-92(2020)

 

 

适用范围

本指南定义了测试考虑安装到高纯度气体分配系统中的组件的程序。应用本指南预计将在测试的组件之间产生可比较的数据，以验证该安装的资格。本指南建立了确定用于制造半导体行业高纯度气体分配系统组件的金属的元素成分和冶金特性的程序。不锈钢的成分和冶金学可能会影响对此应用重要的性能，包括表面粗糙度、表面缺陷的发生率、钝化、耐腐蚀性和焊接性。
1.1 本指南涵盖通用不锈钢的耐腐蚀金属合金，含有铬、镍、锰和硅作为主要合金添加剂，可能还含有钼，这些材料符合或指定用于半导体行业高纯度气体供应系统中使用的组件材料。本指南主要用于测试以确定是否符合供应商产品规格或客户购买规格或两者中规定的适用成分和冶金规格。
1.2 本指南中分析和报告的元素如下：
1.2.1 合金添加物铬、镍和钼（如果在合金中指定，如 316L 型）， 1.2.2 微量元素和残留物锰、硅、铜、钴，以及钛和铌（铌）等稳定剂（如果存在）， 1.2.3 碳、硫和磷， 1.2.4 氮气和氧气， 1.2.5 可能在熔化过程中添加的任何其他微量元素1.2.6 描述了这些元素的可用标准分析和报告技术。
1.3 需要分析和报告的冶金特性是夹杂物含量、晶粒结构、机械性能和晶间腐蚀敏感性。
1.4 限制：
1.4.1 本指南仅限于范围中规定的一般类别的耐腐蚀金属合金。
1.4.2 本指南中引用的测试方法并不旨在排除使用已证明具有同等或更高精度和偏差的其他普遍接受的技术。
1.4.3 本指南中包含的任何给定元素或冶金特性的测试和分析程序不应被解释为将该元素或冶金特性纳入任何规范的要求。
1.5 以 SI 单位表示的数值应被视为标准。括号中给出的英寸-磅单位仅供参考。
1.6 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

ASTM F1376-92(2005) 中可能用到的仪器设备