ASTM F1367-98(2003)
薄膜设备用铬喷镀极

Standard Specification for Chromium Sputtering Targets for Thin Film Applications

被代替

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标准号

ASTM F1367-98(2003)

发布

1998年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM F1367-98(2011)

当前最新

ASTM F1367-98(2011)

 

 

适用范围

1.1 本规范涵盖由铬金属制成的溅射靶材。
1.2 本规范规定了纯度等级、物理属性、分析方法和包装要求。
1.3 以 SI 单位表示的值被视为标准值。

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