ASTM F1513-99(2003)
电子薄膜器件用纯铝(非合金)原材料标准规范

Standard Specification for Pure Aluminum (Unalloyed) Source Material for Electronic Thin Film Applications


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标准号
ASTM F1513-99(2003)
发布
1999年
发布单位
美国材料与试验协会
替代标准
ASTM F1513-99(2011)
当前最新
ASTM F1513-99(2011)
 
 
1.1 本规范涵盖用于蒸发源和溅射靶材的纯铝金属（非合金）。该材料旨在作为电子应用的原材料。在某些情况下，该材料按原样使用（例如，作为电子束蒸发源）。在其他情况下，买方可以将其重熔、合金化、铸造和加工以制成成品（例如溅射靶材）。 1.2 本规范规定了纯度等级、物理属性、分析方法和包装。 1.3 以 SI 单位表示的数值应被视为标准。括号中给出的值仅供参考。

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