ASTM F1708-96
使用仪表-区域提纯器光谱法评定粒状多晶硅的标准实施规范
Standard Practice for Evaluation of Granular Polysilicon by Meter-Zoner Spectroscopies
- 标准号
- ASTM F1708-96
- 发布
- 1996年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM F1708-02
- 当前最新
- ASTM F1708-02
- 引用标准
- ASTM D5127 ASTM F1241 ASTM F1389 ASTM F1391 ASTM F1630
- 适用范围
- 1.1 本实践描述了将粒状多晶硅固结成实心棒，然后通过区熔技术将多晶硅棒转化为单晶的过程。所得单晶锭用于测定多晶硅中的痕量杂质。这些杂质是受主和施主成分（通常是硼、铝、磷、砷和锑）以及替代碳。
1.2 本实践涵盖的杂质浓度的有用范围是受主的十亿分之一原子 (ppba) 0.002 至 100 份和施主杂质，以及 0.03 至 5 ppma 的碳。通过光致发光或红外光谱分析从单晶锭中取出的切片中的受主和施主杂质。碳杂质通过红外光谱分析切片来确定。
1.3 这种做法仅适用于评估通过在连续流化床中将硅烷或其中一种氯硅烷热沉积到高纯度多晶硅晶种上而产生的多晶硅颗粒。反应堆。颗粒形状接近球形，尺寸范围为 200 至 2500 956;m，平均尺寸约为 900 956;m.1.4 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有） 。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。具体危险说明见第 9 节和 12.1.1。
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