质谱检漏仪的校验 吸枪与质谱检漏仪之间使用金属软管连接后,将吸枪移至正压校准漏孔出口侧,校验仪器的读数。质谱检漏仪应在校验后使用并在试验期间每1~2小时校验一次。质谱检漏仪的检漏率应高于设备所允许漏率1~2个数量级。内部加压 首先将设备稳固的置于明亮、透风良好的场所,连接好试验用管路及压力表,压力表至少采用两个量程相同且经校验的压力表,并应将其安装在试验容器的顶部便于观察的位置。...
安捷伦可以提供两种适合该应用的检漏仪,这两种检漏仪都使用氦气作为示踪气体.HLD 系列氦质谱检漏仪采用氦质谱原理,具有非常高的精度。由于精度很高,它可以测到更小的泄漏(吸枪法时 1E-8 mbarl/s),或者可以采用更低浓度的氦气作为示踪气体。它可以直接显示化工行业常用的 ppm 做单位,可以通过质量流量计或者已知浓度的氦气进行校准,快速准确的测出 1-1000 ppm 浓度的氦气。...
积累氦质谱检漏试验方法中,漏率校准非常重要,如果针对抽气系统,必须每次工作前都要进行校准;如果针对净化气体,则需要保证氦含量不高于1PPM,才能避免多出的氦影响检测精度。 除此之外,表面吸附去除也很重要,如果针对陶瓷、金属或者玻璃的外壳,必须进行表面氦去除。因为如果被测件表面存在油脂或者水汽等异物,会导致氦吸附,这些都会影响精细漏率的测量。 ...
具体的试验过程是:首先建立一个符合真空室检漏方法并满足检漏灵敏度要求的检漏系统。对真空室抽真空,达到检漏要求的真空度时打开截止阀,使真空室与已经工作的检漏仪连接,在仪器稳定后记录系统本底值,然后打开真空校准漏孔,待仪器示值稳定,记录反应值,关闭真空校准漏孔等待仪器回到本底初值,对被检件充入工作压力的氦气,记录检漏仪的反应值,从而达到检漏目的。...
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