ASTM F50-07
用可探测单个亚微米及较大粒子的仪器在灰尘控制区域和无菌室中连续测定空气中粒子的大小及计数用标准实施规程

Standard Practice for Continuous Sizing and Counting of Airborne Particles in Dust-Controlled Areas and Clean Rooms Using Instruments Capable of Detecting Single Sub-Micrometre and Larger Particles

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标准号

ASTM F50-07

发布

2007年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM F50-12

当前最新

ASTM F50-21

 

 

适用范围

1.1 本实践涵盖了灰尘控制区域和洁净室中空气中颗粒浓度（按数量）和尺寸分布的测定，颗粒尺寸范围约为 0.01 至 5.0 m。颗粒浓度不超过 3.5 106 颗粒/m3 (100 000/ft 3) 涵盖等于和大于测量的最小尺寸的所有颗粒。
1.2 本实践使用空气传播的单颗粒计数装置 (SPC)，其操作基于测量单个颗粒通过传感区域产生的信号。信号必须与颗粒尺寸直接或间接相关。注1：此处未指定SPC类型。 SPC 可以是传统的光学粒子计数器 (OPC)、空气动力学粒子测定器、与扩散电池或微分迁移率分析仪结合运行的凝聚核计数器 (CNC)，或任何其他能够对粒子中的单个粒子进行计数和大小测定的设备。关注的尺寸范围和洁净室环境中的采样。
1.3 根据本实践进行测试的个人应接受 SPC 使用培训，并应了解其操作。
1.4 由于空气中颗粒的浓度和粒径分布受连续变化，采样探头配置、位置和采样时间的选择都会影响采样结果。此外，不同 SPC 之间的物理测量、电子和样品处理系统的差异以及被测量的各种颗粒的物理特性的差异可能会导致测试结果的变化。应通过使用主要校准的标准方法并尽量减少样品采集程序的可变性来认识并尽量减少这些差异。
1.5 可以根据不同的洁净室等级级别为特定应用选择样品采集程序和设备。对这些选择的严格要求超出了本实践的范围；然而，取样方法应考虑到洁净室中悬浮颗粒的潜在空间和统计变化。洁净室分类的一般参考遵循最新修订的联邦标准 209E。如果要在不符合这些分类的粉尘控制区域中描述空气中颗粒的特征，则应使用这些区域相关规范的最新修订版。本标准并不旨在解决所有相关的安全问题（如果有）及其使用。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。有关具体危险说明，请参阅第 8 节。

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