ASTM F1438-93(2005) 用扫描隧道显微术法测定气体分配系统元件的表面粗糙度的测试方法发布历史

ASTM F1438-93(2005)由美国材料与试验协会 US-ASTM 发布于 1993。

ASTM F1438-93(2005) 在中国标准分类中归属于: J04 基础标准与通用方法。

STM 图像和数据的使用是为了纹理质量评估和品质因数计算，以及高纯度气体系统洁净室组件。该测试方法定义了标准数据表示格式，并建议利用 STM 分析三维表面特征的能力的品质因数。

1.1 本测试方法的目的是定义使用扫描隧道显微镜（STM）分析上述部件表面纹理的方法。 STM 是一种非接触式表面分析方法，可以测量纳米尺寸范围内的三维表面特征，然后可用于表示表面纹理或提供品质因数。应用这种测试方法，其中表面纹理被用作选择标准，预计会在不同的测试组件之间产生可比较的数据。

1.2 局限性：

1.2.1 本测试方法仅限于表征比 Ra = 0.25 μm 更光滑的不锈钢表面，由接触式轮廓仪测定并由 ANSI B46.1 定义。该测试方法中使用的放大倍数和高度比例是在考虑到这种平滑度的情况下选择的。

1.2.2 表面的故意蚀刻或导电涂层被认为是气体润湿表面的修改，并且不包括在本测试方法中。

1.2.3 本试验方法不包括氧化层过厚而无法在 11.3 规定的试验条件下进行隧道掘进的钢材。

1.3 本技术的编写假设 STM 操作员了解仪器的使用、其控制原理以及可能出现的任何工件。对这些要点的讨论超出了本测试方法的范围。

1.4 以 SI 单位表示的数值应被视为标准。

1.5 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

ASTM F1438-93(2005)
用扫描隧道显微术法测定气体分配系统元件的表面粗糙度的测试方法