ASTM F1771-97
用电压斜波技术评价栅氧化层整体性的标准试验方法
Standard Test Method for Evaluating Gate Oxide Integrity by Voltage Ramp Technique
说明：
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- 标准号
- ASTM F1771-97
- 发布
- 1997年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM F1771-97(2002)
- 当前最新
- ASTM F1771-97(2002)
- 1.1 本标准概述的技术旨在标准化相关方之间氧化物完整性数据的测量、分析和报告程序。该测试方法不代表实际设备故障率或接受/拒绝标准。虽然本测试方法的后面部分中包含了一些数据分析建议，但结果的解释超出了本标准的范围。任何此类解释均应在测试之前由相关各方达成一致。例如，包括各种故障标准以允许区分所谓的内在和外在氧化物故障。 1.2 本测试方法涵盖了测量厚度范围约...