ASTM E498-95(2006)
在示踪探针法中用质谱仪检漏器或残余气体分析器作泄漏检验的测试方法

Standard Test Methods for Leaks Using the Mass Spectrometer Leak Detector or Residual Gas Analyzer in the Tracer Probe Mode

被代替

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标准号

ASTM E498-95(2006)

发布

1995年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM E498/E498M-11

当前最新

ASTM E498/E498M-11(2022)

 

 

适用范围

测试方法 A 最常用于泄漏测试组件，这些组件在结构上能够抽空至 0.1 Pa（大约 10'3 托）的压力。小部件的测试可以与校准泄漏相关联，并且可以测量实际泄漏率，或者可以基于最大允许泄漏来进行验收。对于大多数生产需求，验收是基于零件泄漏小于既定标准的验收，这将确保组件在预计使用寿命内的安全性能。必须小心确保大型系统在测试体积的代表性位置处使用参考泄漏进行校准。泄漏率是通过计算测试部件泄漏导致设备预期寿命期间发生故障的净增益或损失来确定的。测试方法 B 用于测试真空系统，作为新系统最终测试的一个步骤，或作为用于制造、环境测试或调节零件的设备的维护实践。由于体积往往较大，因此应检查响应时间和系统灵敏度。系统体积（升）除以真空泵的速度（升/秒）将得出达到总信号 63% 的响应时间。超过几秒的响应时间使得泄漏检测变得困难。仅当没有方便的方法将检漏仪连接到高真空泵出口时才使用测试方法C。如果使用氦检漏仪并且高真空泵是离子泵或低温泵，则泄漏测试最好在粗加工循环期间完成，因为这些泵在高真空室中留下相对较高百分比的氦气。这将掩盖除大泄漏之外的所有泄漏，并且痕量气体将很快使泵饱和。
1.1 这些测试方法涵盖以 4.5 10 14 mol/s (1 109 Std cm 3/ s) 或更大。测试可以在任何可以抽空且另一侧可以施加氦气或其他示踪气体的待测物体上进行。
1.2 描述了三种测试方法：
1.2.1 测试方法 A - 对于被测物体能够被抽空，但不具有固有的泵送能力。
1.2.2 测试方法 B——对于具有整体泵送能力的被测物体。
1.2.3 测试方法 C——对于测试方法 B 中的被测物体，其中被测物体的真空泵取代了检漏仪中通常使用的真空泵。本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。具体的危险说明可以在 中找到。

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