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碎片保护建议在涡轮分子泵的高真空法兰上插入防护罩，以避免坠落碎片损坏转子。由于传导损耗，抽速降低达 30%，具体视气体类型而定。如可能，涡轮分子泵应该在真空室内倒置放置，因为异物会因重力而掉落下来。因此，须确保泵可用于高空作业。烘烤泵当烘烤泵时，务必遵守生产商规定的最大高真空法兰温度为120 °C 的要求。超过允许的温度会导致泵过热，并会造成轴承或转子受损。烘烤时要求对泵进行水冷。...
3.5.碎片保护最后在涡轮分子泵的高真空法兰上插入防护罩，以避免坠落碎片损坏转子。根据电导损耗，抽速降低达 30%，具体视气体类型而定。如可能，涡轮分子泵应该在真空室内倒置放置，因为异物会因重力而掉落下来。确保泵可用于高空作业。3.6.烘烤泵当烘烤泵时，务必遵守生产商规定的最大高真空法兰温度为 120°C 的要求。超过允许的温度会导致泵过热，并会造成轴承或转子受损。烘烤时，需要用水对泵进行冷却。...
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