EN ISO 14644-3:2005
清洁室和相关受控环境.第3部分:试验方法

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 3: Test methods ISO 14644-3: 2005


说明：

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标准号
EN ISO 14644-3:2005
发布
2005年
发布单位
欧洲标准化委员会
替代标准
EN ISO 14644-3:2019
当前最新
EN ISO 14644-3:2019
 
 
引用标准
ISO 14644-1:1999 ISO 14644-2:2000 ISO 14644-4:2001 ISO 7726:1998
ISO 14644 的这一部分规定了空气颗粒洁净度指定分类以及表征洁净室和洁净区性能的测试方法。 性能测试针对两种类型的洁净室和洁净区：单向流和非单向流，在三种可能的占用状态：竣工状态、静止状态和运行状态。 测试方法推荐了用于确定性能参数的测试装置和测试程序。 如果测试方法受到洁净室或洁净区类型的影响，建议采用替代程序。 对于某些测试，建议使用几种不同的方法...

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