DIN 32564-2:2004
微系统用制造设备.术语和定义.第2部分:基本技术和生产
Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 2: Basic technologies and production
- 标准号
- DIN 32564-2:2004
- 发布
- 2004年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN 32564-2:2004-05
- 当前最新
- DIN 32564-2:2004-05
- 被代替标准
- DIN 32564-2:2003
- 适用范围
- 本文件定义了与微系统生产所用基本技术相关的术语。 其目的是通过统一词汇来缓解技术问题的沟通。