GB/T 22572-2008
表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法
A Method for Estimating Depth-Resolved Parameters Using Multi-delta Layered Reference Materials for Secondary Ion Mass Spectrometry in Surface Chemistry
GBT22572-2008, GB22572-2008
- 标准号
- GB/T 22572-2008
- 别名
- GBT22572-2008
GB22572-2008 - 发布
- 2008年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 22572-2008
- 本标准详细说明了在 SIMS 深度剖析中，用多 8 层参考物质评估前沿衰变长度、后沿衰变长度和高 斯展宽三个深度分辨参数的步骤。 由于样品表面的物理和化学态受一次人射离子影响而不稳定，本标准不适用于近表面区域的8 层。
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