PAS 1022-2004
检测材料及介电材料性质以及用椭偏仪测量薄膜层厚度的参考程序

Reference procedure for the determination of optical and dielectric material properties and the layer thickness of thin films by ellipsometry


 

 

非常抱歉，我们暂时无法提供预览，您可以试试： 免费下载 PAS 1022-2004 前三页，或者稍后再访问。

您也可以尝试购买此标准，
点击右侧 “购买” 按钮开始采购（由第三方提供）。

点击下载后，生成下载文件时间比较长，请耐心等待......

 

标准号
PAS 1022-2004
发布
2004年
发布单位
德国标准化学会
 
 

PAS 1022-2004相似标准

SJ 20985-2008 军用电子整机腐蚀防护工艺设计与控制指南 GB/T 31225-2014 椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法 GB/T 40933-2021 塑料制品 薄膜和薄片 热塑性塑料薄膜试验指南 GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语 GB/T 18050-2000 潜油电泵电缆试验方法

推荐

应用推荐|SM200及其系列膜厚仪在薄膜检测的应用

薄膜结构是一种特殊的形态，其在厚度方向上尺寸较小，只能微观可测量，而由于薄膜结构在界面处的突变，使其具备了与普通结构不同的性质。麦克斯韦于十九世纪发表的《论电与磁》奠定了薄膜问题的理论基础，为了获得出色的薄膜性能，我们需要精确的控制薄膜的厚度参数，从而使薄膜器件能够正常工作。薄膜检测技术在近年来广泛发展，主要有接触式测量方法、石英晶体震荡法、椭圆偏振法、反射光谱法、白光光谱法等。...

TG，TMA，DSC，DMA，DETA五大材料热性能分析，材料人必看！！！

图6 聚苯乙烯tg 随温度变化的曲线 影响因素：升温速率、样品厚度、有无覆金属层，夹具类型等 (5) 动态介电分析(DETA) 动态介电分析是物质在一定频率的交变电场下并受一定受控温度程序加热时，测试物质的介电性能随温度变化的一种技术。 介电分析原理：具有偶极子的电介质，在外电场的作用下，将会随外电场定向排列。偶极子的极化和温度有关并伴随着能量的消耗。...

TG，TMA，DSC，DMA，DETA五大材料热性能分析，材料人必看！！！（文末有福利哦~）

图6 聚苯乙烯tg 随温度变化的曲线 影响因素：升温速率、样品厚度、有无覆金属层，夹具类型等 (5) 动态介电分析(DETA) 动态介电分析是物质在一定频率的交变电场下并受一定受控温度程序加热时，测试物质的介电性能随温度变化的一种技术。 介电分析原理：具有偶极子的电介质，在外电场的作用下，将会随外电场定向排列。偶极子的极化和温度有关并伴随着能量的消耗。...

实操手册||热分析原理剖析与谱图讲解

图6 聚苯乙烯tg 随温度变化的曲线 影响因素：升温速率、样品厚度、有无覆金属层，夹具类型等 (5) 、动态介电分析(DETA) 动态介电分析是物质在一定频率的交变电场下并受一定受控温度程序加热时，测试物质的介电性能随温度变化的一种技术。 介电分析原理：具有偶极子的电介质，在外电场的作用下，将会随外电场定向排列。偶极子的极化和温度有关并伴随着能量的消耗。...

PAS 1022-2004 中可能用到的仪器设备

椭偏仪 涂镀层及薄膜测厚仪 在线测厚仪 薄膜应力测试仪 半导体专用检测仪器设备


Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证：京ICP证110310号