缺点:工作气压高(10-2Torr),高真空泵不起作用;沉积速率低,基片升温高,只能用金属靶(绝缘靶导致正离子累积) 2.射频溅射 图 射频溅射工作示意图 射频频率:13.56MHz 特点:电子作振荡运动,延长了路径,不再需要高压。射频溅射可制备绝缘介质薄膜射频溅射的负偏压作用,使之类似直流溅射。 ...
⑥液态氢在运输过程中不能与大气中的空气接触。(2)低温液体的储蓄①低温液体应储蓄在符合相应压力和温度条件的容器中。最常见的低温液体容器室双层、其口的杜瓦长颈鹿,杜瓦长颈鹿需要用带子或金属丝网进行防护。②存放低温液体的容器或系统应该有减轻压力的机械装置,存放场所要求通风良好。③圆柱体和其他压力容器如杜瓦长颈鹿,用来存放低温液体的容器所装的液体不能超过容量的80%。...
⑥液态氢在运输过程中不能与大气中的空气接触。(2)低温液体的储蓄①低温液体应储蓄在符合相应压力和温度条件的容器中。最常见的低温液体容器室双层、其口的杜瓦长颈鹿,杜瓦长颈鹿需要用带子或金属丝网进行防护。②存放低温液体的容器或系统应该有减轻压力的机械装置,存放场所要求通风良好。③圆柱体和其他压力容器如杜瓦长颈鹿,用来存放低温液体的容器所装的液体不能超过容量的80%。...
抽真空时,容器外面宜用铁丝网罩或布包裹,以备玻璃炸裂时防护。加压时的防火要求高压釜应设置在专门的室内。高压釜应由强度高、耐高温、耐腐蚀的材料制成,耐压强度应为工作压强2-3倍,压力表的指示范围宜为工作压力的2倍(至少超过1/3)。使用前应检查是否漏气,操作时应严格控制温度、压力等参数,用毕应待釜自冷,先开阀门,余气排尽后,再打开釜身;严禁用水冷却。...
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